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半导体机台MES上位机

为半导体封装测试企业开发的机台MES上位机系统,基于.NET Core微服务架构与Oracle数据库构建,通过SECS/GEM协议接入封装、测试、分选等50余台设备,实现机台状态实时监控、工单在线派发、在制品(WIP)秒级追踪、SPC过程自动判稳与设备OEE分析,打通从晶圆投入到成品出货的全流程数据链,助力封测厂提升良率与设备综合效率。

所属行业 半导体 / 封装测试
技术栈 C# / .NET Core / Oracle
机台接入 SECS/GEM
交付周期 12周
半导体机台MES上位机界面截图

半导体机台MES上位机主界面 — 机台状态、WIP追踪与SPC看板

案例概述

半导体封装测试产线设备种类多、品牌杂、数据协议异构,传统MES难以实时采集机台状态与在制品数据,导致WIP黑箱、良率分析滞后、设备利用率难以提升。本系统采用SECS/GEM标准协议(HSMS传输)统一接入贴片、打线、塑封、测试、分选等机台,实时采集报警事件、工艺参数与晶圆/芯片过站记录,构建从晶圆投入到成品出货的端到端WIP追踪链。系统已在某封测龙头量产线投运,接入机台50余台,WIP数据刷新延迟小于3秒,SPC自动判稳替代人工判读,设备OEE提升约12个百分点。

核心功能模块

系统围绕"采集—派工—追踪—质控—分析—看板"闭环设计,覆盖封测产线管控全流程

机台状态监控

通过SECS/GEM协议实时采集机台运行、待机、报警、停机状态与事件,状态变化3秒内刷新至监控大屏。支持按工序、车间、机台分组展示,异常状态高亮闪烁并推送责任工程师。

工单派发管理

对接ERP工单并按工艺路线拆解为机台级作业指令,支持优先级调度、换线预警与插单重排。工单下机台后自动校验产品型号、配方版本与治具,杜绝错料错单生产。

在制品WIP追踪

以晶圆/批次/芯片为单位记录每一工序过站时间、机台、操作员与测试结果,构建完整WIP流转链。支持扫码或批号秒级查询任一制品当前所在工序与历史轨迹,堵住WIP黑箱。

SPC过程控制

实时采集关键工艺参数与测试数据,自动绘制X-bar/R控制图并按8大判异规则判稳,失控即时报警并冻结相关批次。支持按产品、工序、机台多维度CPK分析,驱动工艺持续改进。

设备OEE分析

基于机台事件自动计算可用率、性能率与良率,合成OEE并按班次、机台、产品维度钻取分析。停机原因分类统计,帮助定位设备瓶颈与计划外停机主因,驱动OEE持续提升。

报表与看板

车间大屏实时展示WIP分布、机台状态、良率趋势与OEE看板,支持多车间轮播。管理端可自定义报表模板,按日/周/月自动生成生产绩效与质量报表,支持Excel/PDF导出归档。

应用场景

系统已在以下封测场景落地运行,可灵活适配不同工序与机台类型

1

晶圆封装产线

晶圆减薄、切割、贴片、打线、塑封等工序设备繁多。系统统一SECS/GEM接入各工序机台,实现WIP跨工序流转追踪与工艺参数采集,构建完整封装数据链。

2

测试分选机台

测试分选机台产出大量测试数据与bin分类结果。系统实时采集测试记录并自动判稳SPC,失控批次即时隔离,避免不良品流出至下道工序。

3

芯片贴片工序

贴片工序对die偏移、共晶质量敏感。系统采集贴片机台工艺参数与视觉对位数据,关联批次WIP记录,便于贴片质量异常时快速定位与追溯。

4

成品测试出货

成品终测与出货需绑定批次、测试结果与客户订单。系统自动汇总批次良率与bin分布,生成出货检验报告与质量证明,支撑出货放行与客户审计。

技术亮点

系统在设备联网、实时追踪与过程质控方面做了针对性设计

SECS/GEM协议
HSMS标准通讯
实时WIP追踪
秒级数据刷新
SPC自动判稳
8大判异规则
机台联网集成
50+机台接入

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